尼康工具显微镜MM系列在探针卡检测中的创新应用
作者：北京必一运动仪器有限公司
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发表时间：2025-05-09 10:35:13
在半导体制造领域，探针卡（Probe Card）作为晶圆测试（Wafer Test）的核心工具，其性能直接决定了芯片良率与制造成本。必一运动仪器携手尼康，通过MM系列工具显微镜，为探针卡的精密检测提供了***解决方案。
探针卡：半导体测试的“指尖”
探针卡是半导体测试中不可或缺的接口工具，用于连接测试机与晶圆上的焊垫（Pad）或凸块（Bump），导出芯片信号以进行电学性能验证。根据应用场景，探针卡可分为三类：
尼康MM系列：精密检测的“利器”
尼康MM系列工业测量显微镜以其高精度、高稳定性和多功能性，成为探针卡检测的理想选择。该系列显微镜具备以下核心优势：
▲尼康工具显微镜MM系列
- 高精度测量：配备电动垂直移动机构与光栅尺，结合分光棱镜辅助对焦（FA），实现微米级测量精度。
- 多物镜灵活适配：支持1倍至100倍物镜快速切换，满足不同倍率检测需求，所有物镜对焦距离一致，操作便捷。
- ***照明系统：集成白色与绿色LED光源，色温恒定，适应多种样品照明条件，提升检测清晰度。
- 智能软件赋能：搭载E-MAX测量软件，支持亚像素处理与自动边缘检测，实现***测量与数据***处理。
应用案例：探针卡的精密检测
在探针卡的日常维护中，尼康MM系列显微镜发挥了关键作用：
- 探针倾斜与高度检测：通过显微镜观察每个探针的倾斜角度，测试其高度，确保探针与晶圆接触的准确性。
- 针痕深度分析：利用高倍率物镜，分析探针卡在晶圆上留下的针痕深度，评估探针磨损情况，预防因探针过度磨损导致的测试失效。
- 定期维护与校准：每使用25,000次后，通过显微镜检查探针卡的位置基准和水平基准值；每使用250,000次后，更换所有探针，确保测试稳定性。
尼康MM系列工具显微镜凭借其卓越的性能和智能化的软件支持，为探针卡的精密检测提供了可靠保障。必一运动仪器将持续引入先进技术，助力半导体制造企业提升测试效率，降低制造成本，共同推动半导体产业的高质量发展。
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